研磨による無反りウエハの創成（第1報） 冷凍ピンチャックの凝固変形と凝固保持特性

竹鼻 亮道; 宇根 篤暢; 吉冨 健一郎; 餅田 正秋

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.809.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: J34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.809.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

研磨による無反りウエハの創成（第1報）

冷凍ピンチャックの凝固変形と凝固保持特性

*竹鼻亮道, 宇根篤暢, 吉冨健一郎, 餅田正秋

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キーワード: 冷凍ピンチャック, 凝固保持, 引張力, せん断力, 有限要素法, 冷凍液

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抄録

本研究では無反りウエハ創成技術の開発を進めている．本報ではピン直径0.5mm，ピッチ1mmのSiC製冷凍ピンチャックに対する冷凍液塗布前後および凝固前後における300mm石英ウエハの形状差を明らかにした．また，凝固固着時における冷凍液のせん断応力および引張応力の測定結果は，それぞれ1200kPa，1800kPaであり，研磨温度30℃の場合も剥離させずに研磨できることを明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

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