空気浮上式ガラス基板搬送装置におけるガラス基板の変形解析と実験的検証

大岩 尚樹; 平山 朋子; 松岡 敬; 矢部 寛

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.807.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: J33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.807.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

空気浮上式ガラス基板搬送装置におけるガラス基板の変形解析と実験的検証

*大岩尚樹, 平山朋子, 松岡敬, 矢部寛

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キーワード: 空気静圧軸受, ガラス基板, 弾性変形, 非接触搬送

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抄録

液晶用ガラス基板を空気静圧軸受の原理によって非接触状態で搬送する装置が提案されている．大型化・薄肉化が進むガラス基板の浮上時の変形特性を把握することが本研究の目的である．気体膜によって支持されるガラス基板の変形特性をReynolds方程式およびTimoshenkoの薄板の変形理論によって解析し，解析結果の妥当性を実験で検証した．解析および実験結果において，変形挙動の良好な一致を確認した．

責任著者(Corresponding author)

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