機能性難加工材料の研磨特性に関する基礎研究

古賀 慎二; 土肥 俊郎; 畝田 道雄; 黒河 周平; 大西 修; 松廣 啓治

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.817.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: J39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.817.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

機能性難加工材料の研磨特性に関する基礎研究

*古賀慎二, 土肥俊郎, 畝田道雄, 黒河周平, 大西修, 松廣啓治

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キーワード: ニオブ酸リチウム, CMP, 化学機械研磨, 研磨レート

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抄録

本研究では酸化物光学結晶であるニオブ酸リチウム(LN;LiNbO₃)の高能率かつ高品質な研磨加工条件を確立するとともに，窒化ガリウム(GaN)を含めた他難加工材料との研磨特性の比較検証に基づく研磨メカニズムの考察を目的としている．本報告ではダイヤモンドスラリーとコロイダルシリカスラリーを用いた場合における各種条件（研磨圧力，スラリー濃度）が研磨特性（研磨レート，表面粗さ）に及ぼす影響を述べる．

責任著者(Corresponding author)

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