ナノ秒パルスファイバーレーザを用いたTCO膜の除去加工現象に関する検討

抄録

透明導電膜は導電性を有しながら，可視光の領域で高い透過性を持ち合わせていることから広く普及が進んでいる．しかし，加工対象以外の薄膜に対してダメージを与えないこと，さらには透明導電膜の種類も異なるなど，様々なプロセスへ対応することが求められる．本研究では，透明導電膜として使用されているZnO膜等に対してスクライブ加工を行い，加工痕と除去工程の観察によって除去加工現象に関する検討を行った．