超短パルスレーザによるガラスの内部加工と加工現象の解析

抄録

フェムト秒のレーザーによって、ガラスの内部の加工を行った。パルス間距離が一定にして、レーザーを繰返し照射した。パルスの時間間隔が比較的長いとき、細長い三角形状のパターンが得られた。他方、時間間隔が比較的短いとき、羽ペン状パターンが発生した。前者が二光子吸収によって、後者は、さらに蓄熱効果のため線形吸収係数の温度依存性によっても発生すると推測した。これらの妥当性は、簡単な熱伝導解析によって確認した。