レーザ割断における強制冷却時の基板拘束条件が熱応力に及ぼす影響

抄録

慣性力を考慮した一次元熱弾性モデルを用いて強制冷却時における基板拘束条件の効果を検討した．一次元非定常熱伝導方程式と熱弾性波動方程式を有限差分法で離散化した．数値計算は反復法のガウスザイデル法で実施した．強制冷却に関しては噴射ノズルからの冷却水による強制対流に基づく熱伝達係数を適用した．基板拘束条件は両端自由端と両端拘束を適用した．両端拘束よりも両端自由が強制冷却の効果による引張熱応力の作用が大きい．