主催: 公益社団法人精密工学会
東レエンジニアリング 開発部門 要素技術開発センター
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我々は，3波長照明系とカラーカメラにより得られる透明膜の干渉色画像から各画素の膜厚を推定するアルゴリズム（GMFT)を開発し，高水平分解能・高速・校正不要という特徴を有する膜厚分布測定装置を実用化した．本報では，本測定法の感度解析，すなわち，膜厚推定値の輝度値依存性の考察結果と，それを利用した膜厚推定改良アルゴリズムのテスト結果と，数十ナノメートル以下の超薄膜の測定可能性の考察結果を報告する．
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