振動環境下で取り込まれた多数枚のスペックル干渉像からの位相抽出

安達 正明; 佐々木 裕紀

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.387.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: H01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.387.0

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

振動環境下で取り込まれた多数枚のスペックル干渉像からの位相抽出

*安達正明, 佐々木裕紀

著者情報

キーワード: 位相抽出, スペックル干渉像, 振動環境

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

振動環境下でも使える，波長走査干渉計を用いた３次元形状計測法を開発している．この実現には振動環境下で取り込んだ多数枚のスペックルグラムからスペックル位相を抽出する必要が有る．提案する方法では多数枚のスペックルグラムから，光強度の最大最小値探索と２回規格化を用いて，干渉像間の位相シフト量を抽出し，最小二乗近似を利用して位相を抽出する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）