精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: A46
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光結合微小機械振動子の作製とその特性評価に関する研究
*守屋 和樹割澤 伸一石原 直米谷 玲皇
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抄録
光の波長検出を目的としてナノ機械振動子を作製し、その波長検出特性を評価した。本研究では、Au/DLC振動子上にナノ周期構造を配置して、光照射に伴う振動子上での光の吸収(熱の発生)に波長依存性を持たせ、熱応力による共振特性変化を検出するというのが波長計測の基本原理である。1535 ~1565 nmの波長範囲の光に対する検出特性評価を行い、本素子を用いて波長計測が可能であることを実証した。
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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