円筒電極を用いた静電誘導型差動変位センサの開発

井上 俊太郎; 木村 文陽; 吉岡 崇元; 樋口 俊郎

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.439.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: I03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.439.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

円筒電極を用いた静電誘導型差動変位センサの開発

*井上俊太郎, 木村文陽, 吉岡崇元, 樋口俊郎

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キーワード: 静電容量式センサ, 変位センサ, アナログセンサ, 差動トランス, LVDT

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抄録

本研究の目的は差動トランスのコイルの機能を円筒キャパシタで置き換えることにより，応答速度の高速化などを行うことである．まず，この考え方により実際に変位が検出可能であることを試作機により示す．次に，電極数を増やした改良型により直線性を向上させる．結果として，差動トランスの駆動周波数よりも10倍程度高速な39 kHzの駆動周波数により，差動トランスと同程度の直線性での変位の検出が可能であることを確認した．

責任著者(Corresponding author)

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