バルク音響センサの有限要素解析

抄録

バルク音響波センサの寸法、電極形状とセンサの周波数－アドミッタンス特性との関係調査を目的として有限要素解析を行う。特にスプリアスの低減に着目する。有限要素解析は市販ソフトウェアCOMSOL Multiphyiscsを利用して実施した。