マイクロ変位センサを用いたせん断力センサ

針崎 康太; 岩崎 拓真; 竹下 俊弘; 有永 雄司; 澤田 廉士

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.509.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: J09

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.509.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

マイクロ変位センサを用いたせん断力センサ

*針崎康太, 岩崎拓真, 竹下俊弘, 有永雄司, 澤田廉士

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キーワード: MEMS, せん断力, ロボットハンド, 変位センサ, 摩擦

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抄録

ロボットハンドで物をつかむ際には, 対象物の情報を検知する必要がある. その一例として対象物とロボットハンドとの間に生じるせん断力を検出することが有効である. そこで我々はマイクロ変位センサを用いたせん断力を計測する装置を提案する. 3×3×0.7mmのセンサチップをフレームで覆い, せん断力により生じたフレームの傾きを検出することで, せん断力を計測する. 本研究ではこのせん断力センサの更なる性能向上を目指した.

責任著者(Corresponding author)

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