X線望遠鏡用WolterミラーのためのX線スローププロファイラの開発 幾何光学と波動光学シミュレーションによる検討

木目 歩美; 松山 智至; 福井 亮介; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.663.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: L43

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.663.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

X線望遠鏡用WolterミラーのためのX線スローププロファイラの開発

幾何光学と波動光学シミュレーションによる検討

*木目歩美, 松山智至, 福井亮介, 山内和人

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キーワード: Wolterミラー, X線望遠鏡, スローププロファイラ

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抄録

宇宙X線望遠鏡用のWolterミラーは，急峻な3次元形状を持つため，表面の形状誤差を高精度に計測することは難しい．そこで本研究では，X線望遠鏡用Wolterミラーのための新しいＸ線スローププロファイラの開発を目指している．幾何光学と波動光学に基づいたシミュレータを開発し，本プロファイラの精度を調査したところ，サブµradの精度でWolterミラーの計測が行えることをシミュレーション上で確認した．

責任著者(Corresponding author)

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