硬X線用部分回転楕円面集光ミラーの開発 高精度形状修正加工法と高精度スティッチング表面形状計測法を利用したミラー作製

湯本 博勝; 小山 貴久; 松山 智至; 山内 和人; 大橋 治彦

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.661.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: L39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.661.0

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

硬X線用部分回転楕円面集光ミラーの開発

高精度形状修正加工法と高精度スティッチング表面形状計測法を利用したミラー作製

*湯本博勝, 小山貴久, 松山智至, 山内和人, 大橋治彦

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キーワード: X線ミラー, X線光学素子, シンクロトロン放射光

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抄録

1枚のミラーにより2次元集光が可能な部分回転楕円面ミラーによる硬X線領域の放射光のナノ集光を目標とし，ミラー作製のための要素技術開発を進めている．本ミラーは，表面の曲率半径が長手方向に数十m，短手方向に数mmであり，ナノメートル精度の表面形状が要求される．本ミラーの作製に対応するため，高精度形状修正加工装置と高精度スティッチング表面形状計測装置を開発し，ターゲット形状に対して加工を実施した．

責任著者(Corresponding author)

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