反射防止構造を持つ透明自立膜の作製と評価

抄録

フラットパネルディスプレイや太陽電池表面、光学レンズ等に広く用いられる反射防止構造を持つフィルム（AR films）の作製において紫外線ナノインプリントリソグラフィ（UV-NIL）は有用な手法である。本研究では、透明性の高い樹脂を用いて反射防止構造をもつ自立膜をUV-NILで作製し、反射率および透過率などの光学的特性の評価を行った。