ナノインプリントによるホログラムメモリの作製

抄録

近年、より容易に高速かつ大容量のデータを配布するための読み取り専用メモリ(ROM)の必要性が増している。そこで、その需要を満たす可能性を持つ計算機合成ホログラム(CGH-ROM)が注目されている。本研究では電子ビームリソグラフィー(EBL)で作製した3次元(3D)のマスターモールドを用いて、紫外線ナノインプリントリソグラフィ(UV-NIL)により、CGH-ROMを転写で作製し、その再生も確認した。