精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: P14
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レーザ表面加熱を用いた微細構造のロール熱ナノインプリント技術の開発
*高橋 賢長藤 圭介矢鳴 里奈佐藤 淑美濱口 哲也中尾 政之
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抄録
レーザを用いた表面加熱によるロール熱ナノインプリント技術について紹介する。ナノインプリントは加熱・加圧・冷却・離型を行い金型の微細構造を転写する技術であるが、ロールでは接触時間が短いため冷却が不十分で型崩れを起こし、転写性を上げるのが難しい。本研究では、レーザをロール金型に照射することで、金型の表面のみを加熱をする。樹脂の充填に必要な最低限の熱を与えることで冷却時間を確保し、高い転写性を実現する。
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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