レーザ表面加熱を用いた微細構造のロール熱ナノインプリント技術の開発

抄録

レーザを用いた表面加熱によるロール熱ナノインプリント技術について紹介する。ナノインプリントは加熱・加圧・冷却・離型を行い金型の微細構造を転写する技術であるが、ロールでは接触時間が短いため冷却が不十分で型崩れを起こし、転写性を上げるのが難しい。本研究では、レーザをロール金型に照射することで、金型の表面のみを加熱をする。樹脂の充填に必要な最低限の熱を与えることで冷却時間を確保し、高い転写性を実現する。