銅単結晶におけるサブミクロンオーダ切削の高精度化に関する研究

超精密切削特性に及ぼす結晶異方性の影響

抄録

近年，微細構造によって機能や付加価値を持つ工業製品の開発が進められている．微細構造を作製する手段の一つとして超精密切削加工がある．しかし，微小な切込みの切削では，被削材の結晶異方性が加工特性や加工精度に大きな影響を及ぼす．そこで，本研究では，銅単結晶のサブミクロンオーダ切削において，結晶方向と切削方向とを変化させ，得られた結果をもとに，微小切込みにおける加工精度向上を試みた．