結晶成長を利用したレーザ微細加工に関する研究

抄録

微細加工にとって原子分子単位で形状制御することは理想である。レーザ微細加工についても同じである。そこで本研究では結晶成長を制御したレーザ微細加工の可能性について検討している。本報では、レーザ照射による結晶成長について検討した結果について報告する。