高誘電率マイクロ機能構造の創製に関する研究

抄録

近年THzメタマテリアルやフォトニック結晶等に応用できるとして、誘電体で出来たマイクロ構造が注目されている。本研究は高誘電率マイクロ機能構造を創製することを試みるものである。光触媒ナノ粒子とアンモニア水溶液との混合溶液中において、レーザースポットを金スパッタリング面上に走査することにより、その走査軌跡上に光触媒ナノ粒子で出来た構造物が創製される。この創製メカニズムと加工特性の検証を行ったので報告する。