精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会春季大会
セッションID: K15
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不純物ドープアモルファス炭素膜の合成と太陽光発電の試み
*齋藤 啓奥山 紘章赤坂 大樹大竹 尚登
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抄録
アモルファス炭素は,アモルファスSiと比べて安価かつ安全に製造することができ,また電気的特性の幅が広いといった長所もある.しかし,特性の制御が難しく,欠陥密度が高い.そこで本研究では,ボロン(B)及びアンチモン(Sb)を含有するアモルファス炭素膜を合成し,その太陽光発電素子としての特性を評価した.その結果,開放電圧40 mVを示し,太陽光発電素子としての機能を有することがわかった.
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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