ZrNiAl系金属ガラス薄膜の機械的性質の評価

清水 実結; 船越 政伸; 吉木 啓介; 生津 資大; 井上 尚三

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.691.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: K23

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.691.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

ZrNiAl系金属ガラス薄膜の機械的性質の評価

*清水実結, 船越政伸, 吉木啓介, 生津資大, 井上尚三

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キーワード: 金属ガラス

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抄録

Zr基金属ガラスはこれまでマイクロ材料としては注目されてこなかったが，MEMS用構造材料として期待できる特性を持つ．本研究ではZrNiAl系合金を取り上げ，コンビナトリアル法を用いて作製した薄膜ライブラリを用いて結晶化温度・硬度・ヤング率の組成依存性を調査している．今後，ガラス転移温度とマイクロ成形性についても検討を進めていく予定である．

責任著者(Corresponding author)

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