差動空気ねじの開発（第1報）

抄録

空気静圧送りねじは、バックラッシュやヒステリシスがなく、高分解能の送りに適している。しかし、静圧空気で浮上させるため、機構が大きくなり、細かいリードのねじを構成することが困難であった。そこで、2つのリードの異なる空気静圧送りねじを組合わせ、差動リード1mmの差動空気ねじを実現した。本報告では、その全体構成について述べ、初期特性について述べる。