エポキシ樹脂研磨パッドの粘弾性と研磨特性

稲澤 求; 谷 泰弘; 村田 順二; 張 宇

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.957.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: O08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.957.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

エポキシ樹脂研磨パッドの粘弾性と研磨特性

*稲澤求, 谷泰弘, 村田順二, 張宇

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キーワード: 研磨, ガラス, エポキシ, 酸化セリウム

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抄録

精密研磨に用いられる酸化セリウムの使用量低減を目的として，従来のウレタン樹脂研磨パッドに比べ，高い研磨能率と優れた仕上げ面粗さが得られるエポキシ樹脂研磨パッドの開発を行っている．研磨パッドの粘弾性は研磨能率，仕上げ面形状などの研磨特性に影響を与えることが知られている．本研究では，異なる粘弾性のエポキシ樹脂研磨パッドを作製し，粘弾性と研磨特性について評価を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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