セリア代替ジルコニア砥粒の研磨特性向上

抄録

ガラスの鏡面研磨には酸化セリウム（セリア）砥粒が多用されている。しかし、近年はその価格が高騰しているため、砥粒を代替する技術の開発が求められている。本研究ではセリアの代替砥粒として、洗浄性に優れ安価である酸化ジルコニウム（ジルコニア）砥粒を検討した。スラリーに様々な添加剤を加えることでその研磨特性の向上を図り、セリア砥粒を用いた場合と同等の研磨特性を得ることができたので報告する。