カーボンオニオンの単結晶炭化ケイ素に対する砥粒性能評価

佐野 崇文; 平田 敦

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.973.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: O20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.973.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

カーボンオニオンの単結晶炭化ケイ素に対する砥粒性能評価

*佐野崇文, 平田敦

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キーワード: カーボンオニオン, ポリシング, 単結晶炭化ケイ素

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抄録

カーボンオニオンはグラフェンシートの同心球殻構造を有する一次粒径数十nm以下のナノ粒子である.カーボンオニオンを純水中に超音波加振により分散させたスラリーを用いて単結晶炭化ケイ素のポリシングを行った結果, 到達表面粗さがÅオーダーの研磨性能を有することを明らかにした.結晶構造による高い機械特性が有効に機能した一方でスクラッチ除去は不完全であり, 凝集体のさらなる解砕を要することが示唆された.

責任著者(Corresponding author)

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