触媒表面基準エッチング法における白金に代わる新規触媒の検討

礒橋 藍; 稻田 辰昭; 山口 航; 杉浦 崇仁; 松山 智至; 佐野 泰久; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_25

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: A23

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_25

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主催: 公益社団法人精密工学会

触媒表面基準エッチング法における白金に代わる新規触媒の検討

*礒橋藍, 稻田辰昭, 山口航, 杉浦崇仁, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

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キーワード: 平坦化, 触媒, 白金, 炭化ケイ素, 遷移金属

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抄録

触媒表面基準エッチング (Catalyst-referred etching: CARE) 法は炭化ケイ素をはじめとする各種機能性材料上に原子レベルで規定された表面を実現可能な新たな研磨手法である．本手法では触媒を白金，加工溶液を純水としているが，白金は高価であることに加え，処理後表面に残留する可能性があり，洗浄による除去が困難であることが問題として挙げられる．本研究では，より安価で洗浄性に富み，十分な加工性能を有する新規触媒の検討を行ったのでこれを報告する．

責任著者(Corresponding author)

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