研磨技術を用いたサファイア加工基板のパターン形状制御

パターン形状とLED性能の関係

抄録

異なるパターンサイズを持つサファイアパターン基板（PSS）上へGaN系発光ダイオード（LED）を作製し、PSSのパターンサイズとGaN系LEDの性能の関係を調べた。PSSのパターンピッチが狭くなるほど、GaN系LEDの輝度が増加することを確認した。さらにPSSのパターンサイズが内部量子効率と光取り出し効率へ及ぼす影響についても議論した。