研磨シミュレーションの変遷（キーノートスピーチ）

抄録

　研磨に関する理論的取り扱いは，切削や研削加工と比較して難しい．研磨の理論は，プレストンの式から始まるが，多くの研究では最近まで圧力分布は工具全面で一様と仮定され，行われてきた．1990年代から研磨装置の高精度化やコンピュータの高速化に伴って，すきま理論や有限要素法による正確な圧力分布が計算されるようになり，一挙に多くのシミュレーションが開花した．ここでは，研磨シミュレーションの変遷といくつかの手法について概説する．