レーザーアシスト延性加工によるシリコンの平坦化（第3報）

臨界切り込み量の結晶方位依存性に対する熱援用切削の効果

抄録

延性モード切削加工による平坦化の実現には正面旋削法が有効である。しかし延性モードを発現するためには切り込み量の設定を臨界切込み量d_c以下にしなければならない。d_cには結晶方位依存性があるため、切り込み量は最も浅い方位のd_cに揃える必要があり、このことが加工効率を低下させていた。熱援用加工の結果、d_cの結晶方位依存性を緩和する効果が見られたため加工効率の改善が期待される。