研磨圧力シミュレーションにおいて各種モデル化が解析精度に与える影響

橋本 洋平; 鈴木 教和; 沈 閲; 社本 英二

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_35

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: A37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_35

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主催: 公益社団法人精密工学会

研磨圧力シミュレーションにおいて各種モデル化が解析精度に与える影響

*橋本洋平, 鈴木教和, 沈閲, 社本英二

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キーワード: CMP, 研磨圧力, モデル化, 有限要素法解析, 非線形粘弾性, 研磨レート

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抄録

著者らはこれまでに，CMPプロセスに対する研磨パッドの粘性特性と研磨パッド表面の凹凸形状による非線形弾性特性を考慮した解析手法を開発している．本報では，ジンバル方式の研磨ヘッド構造を利用するCMPプロセスを対象とした検討により，各種物性や形状のモデル化が研磨圧力シミュレーションの結果に与える影響について明らかにする．さらに，実験結果と比較することにより解析精度を検証する．

責任著者(Corresponding author)

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