Hybrid X-FROG法を用いたウェハ表面の非接触光計測技術に関する研究

抄録

半導体ウェハ表面欠陥の高感度非接触光計測を実現するためHybrid X-FROG法を提案する．提案する手法では，フェムト秒パルスの時間幅で試料表面で反射する光波の位相を測定し，基準光に対する測定光の位相変化情報を取得し半導体ウェハ表面欠陥の計測を行う．