CMP加工による超硬の刃先仕上げとその刃先を用いた切削加工の研究

抄録

被削物の仕上がり状況において、加工刃具の劣化による仕上がり精度のバラつきが存在する。加工刃具の劣化を押さえ込むことが、被削物の品質向上につながる。本研究では、加工刃具の刃先状態の改質方策として、金属CMP（化学機械研磨）を用いる。粒径0.1μm以下の微粒子で作製した超硬チップの刃先をCMP加工により滑らかな表面を実現した。CMP加工した超硬チップを用いて純Niを切削加工し、溶融することなく切削加工に成功した。