接触型マイクロ熱検知センサによるナノ平滑面微小欠陥検出に関する研究

素子プロファイル改善と接触検知感度の検討

抄録

磁気ディスク，光学素子などのナノ平滑面上の微小欠陥検出手法として，マイクロメートルオーダーサイズの熱検知素子を用い，測定対象面-熱検知素子界面における微小熱収支をもとに微小欠陥を検出する，マイクロ熱検知センサのコンセプトを検討している．本報では，平滑面上の微小欠陥検出実現に向け，熱検知素子プロファイルの改善を図るとともに，その接触検知感度と接触検知メカニズムとについて検討した結果について報告する．