スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法（第4報） スポット照明超解像型基礎実験装置の基本的機能検証

横関 宏樹; 工藤 良太; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_833

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: Q20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_833

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法（第4報）

スポット照明超解像型基礎実験装置の基本的機能検証

*横関宏樹, 工藤良太, 高橋哲, 高増潔

著者情報

キーワード: 欠陥検査, 超解像光学, 構造化照明, スポット照明

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

高解像度の光学式半導体欠陥検査技術の開発にあたって，我々はスポット照明を空間的にナノスケールで重複してシフトさせ，散乱光変調情報を含む複数画像を取得し，計算機による後処理を加えることで，レイリー限界を超える解像を行う方法を研究している．本報では提案手法の原理検証のための基礎実験装置を構築し，基本的機能を検証したので報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）