波長走査干渉法を用いた薄膜試料の光学的厚さ絶対値測定に関する研究

金 亮鎮; 日比野 謙一; 杉田 直彦; 光石 衛

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_839

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: Q23

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_839

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

波長走査干渉法を用いた薄膜試料の光学的厚さ絶対値測定に関する研究

*金亮鎮, 日比野謙一, 杉田直彦, 光石衛

著者情報

キーワード: 薄膜, 絶対厚さ, 波長走査干渉法, 位相検出アルゴリズム

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

半導体産業で数多く用いられている薄膜の厚さ均一度は製造される半導体チップの性能を決定付ける非常に重要な要素である．本研究では高次高調波の抑制が可能で位相シフトの非線形誤差を補正出来る新しい位相検出アルゴリズムを用いた位相測定法と離散フーリエ解析を組み合わせた測定手法を用いて透明薄膜の絶対厚さを測定したので報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）