自由曲面測定装置におけるスティッチ技術の開発（第３報） 低周波誤差を有する表面の測定

根岸 真人; 保坂 光太郎; 堆 浩太郎

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_837

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: Q22

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_837

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主催: 公益社団法人精密工学会

自由曲面測定装置におけるスティッチ技術の開発（第３報）

低周波誤差を有する表面の測定

*根岸真人, 保坂光太郎, 堆浩太郎

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キーワード: 形状測定, スティッチ, 非球面, 自由曲面, オーバーラップ, 低周波

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抄録

大型非球面光学素子の生産を目的とし，複数の分割測定から全体形状を合成するARSA(Approximated Reference Shape Algorithm)と呼ぶ新しいスティッチ技術を開発した．自由曲面測定装置では測定結果がまばらな３次元点列となるため，オーバーラップ部のミスマッチを最小にする従来法が使えない． ARSAは近似参照形状を用いてこの問題を回避，本報は位置誤差との分離が課題となる低周波誤差について検討，有効性を確認した．

責任著者(Corresponding author)

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