精密工学会学術講演会講演論文集
2014年度精密工学会秋季大会
セッションID: Q27
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高速光周波数コムの時間的コヒーレンス干渉による絶対測長技術の開発
*松本 弘一高増 潔
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抄録
光周波数コムの時間的コヒーレンス干渉計は、空間位置の精密測定に有効であるが、一般の光周波数コムの応用では、測定できる空間位置が限定される。本発表では、光コムの時間的コヒーレンス干渉計の空間分解能を向上させるために、光ファイバーの閉じ込め効果を利用して、フリースペクトラルレンジが15 GHzのファイバー型ファブリー・ペロー・エタロンを開発し、光周波数コムの高速化を実現した。これによって、干渉縞が極在する空間位置分解能が向上し、参照光路の必要な走査量が10 mmになるので、数十mまでの長さを測定できる見通しが得られた。本技術による任意長さを、0.1 μmの精度で長さを絶対測定するための実験的検討結果などを報告する。
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© 2014 公益社団法人 精密工学会
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