非接触精密光コム距離測定技術の開発（第7報）

音響光学変調器を利用した高感度計測手法の検討

抄録

光路長変化による光コムのセルフビートの位相変化に基づいた、高分解能で非接触な粗面に対する計測手法の開発を行なっている。セルフビートの波長は表面粗さと比べて十分長く、また、複数の波長を利用することができるため、粗面物体への絶対距離計測が可能である。以前から、受光量の低下によって信号のSNRが悪くなり計測精度の低下を招くことが分かっていた。本報では、それを抑える方法として、音響光学変調器を利用した手法を提案した。