非接触測定における反射防止スプレーの測定値への影響に関する研究

抄録

非接触測定では測定データを安定的に取得するため、一般的に反射防止スプレーを使用している。そこで、本研究では、この反射防止スプレーが測定値に及ぼす影響を調べることで最適なスプレー方法とその検証方法について検討した。その結果、塗布状態による測定値への影響を明らかにし、高精度な測定が出来ることを確認した。