参照平板の横シフトおよび逐次二点法を用いた真直度輪郭測定（第2報） 放物線誤差の補正法に関する比較検討

星野 結人; 外川 一仁; 柳 和久; 原 司

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_1

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_1

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主催: 公益社団法人精密工学会

参照平板の横シフトおよび逐次二点法を用いた真直度輪郭測定（第2報）

放物線誤差の補正法に関する比較検討

*星野結人, 外川一仁, 柳和久, 原司

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キーワード: 高精度測定, 真直度輪郭, 二点法, 平坦面, ソフトウェアデータム

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抄録

本研究は，平坦面の真直度輪郭を高精度に測定できる新たな二点法の開発を目的としている．本測定法は，ソフトウェアデータムを利用して実体基準および被測定面の輪郭を同時に測定し，既知となった実体基準との比較測定およびスティッチングによって測定範囲を拡大するものである．本報ではセンサに起因する測定不確かさを補正する新たな方法を提案し，その有効性を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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