マルチビーム角度測定を用いた真円度測定機（第1報） 測定手法の提案と検証実験

上田 宗一郎; 陳 梅雲; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_3

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_3

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主催: 公益社団法人精密工学会

マルチビーム角度測定を用いた真円度測定機（第1報）

測定手法の提案と検証実験

*上田宗一郎, 陳梅雲, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: 真円度測定

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抄録

真円度は円形加工物の精度評価に広く使われる値であり，様々な方法の真円度測定器が開発されている．最も広く用いられる半径法は測定精度が回転ステージの精度に大きく依存してしまう．そこで本研究では測定精度がステージの精度に依存せず，またセンサ数が1つである手法を提案し，センサを開発することが目的である．今回はマルチビームで角度を検出するセンサを用いた，ナノメートルオーダの測定が行える真円度測定器を提案する．

責任著者(Corresponding author)

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