商業化に向けた圧電ＭＥＭＳデバイスの研究開発（キーノートスピーチ）

抄録

PZT薄膜を用いた圧電MEMSデバイスは、ジャイロやインクジェットヘッドに実用化されている。静電気センサ、エネルギーハーベスタ、超音波センサなど新たな応用への期待も高まりつつある。我々は圧電MEMSデバイス研究開発のための設備をそろえると共に、その基盤技術を確立してきた。現在、これを活用して企業と様々な圧電MEMSデバイスの開発を行っている。本報告では以上のような圧電MEMSデバイスについて、マイクロ静電気センサの研究開発例を中心に紹介する。