チタン酸ジルコン酸鉛薄膜デバイスの200mm径ウェハでの作製技術

抄録

橋などの公共社会基盤の寿命予測を目指して、センサネットワークの応用が期待されている。圧電薄膜デバイスは、低消費電力化のためのトリガーセンサや、電源のための振動発電機に応用でき、需要の拡大が期待される。分極処理の検討を含む、200 mm径SOI基板を用いたチタン酸ジルコン酸鉛薄膜デバイスの作製技術を開発した。双極性パルス分極処理によって、直流分極処理と比べてg定数(=圧電定数/誘電率)を二倍程度向上できた。