細胞形態イメージングのためのナノニードルアレイ搭載型多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発（第2報） In-plane型ナノニードルアレイの形成

田中 一匡; 川島 貴弘; 永井 萌土; 柴田 隆行

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_479

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: F36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_479

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主催: 公益社団法人精密工学会

細胞形態イメージングのためのナノニードルアレイ搭載型多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発（第2報）

In-plane型ナノニードルアレイの形成

*田中一匡, 川島貴弘, 永井萌土, 柴田隆行

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キーワード: SICM, 三次元形状, イメージング, イオンコンダクタンス, 櫛歯型電極, 走査プローブ

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抄録

本研究では，生細胞の形態をイメージングする技術である走査型イオンコンダクタンス顕微鏡（SICM：Scanning Ion Conductance Microscope）の原理を応用し，複数の細胞の三次元形状をイメージングするために，複数のプローブを一体化した多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発を目的としている．本稿では，個々のプローブを独立駆動するためのマイクロアクチュエータを搭載するIn-plane型ナノニードルアレイの作製について検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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