精密工学会学術講演会講演論文集
2014年度精密工学会春季大会
セッションID: G19
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Ag/AgIO3電極法を応用した微小領域pHセンサの開発
*金子 大樹槌谷 和義
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抄録
既存のpHセンサは構造が複雑なため大型であり,細胞等のpH測定にはpHセンサの小型化が必要となる.そこで,スパッタリング法を利用し,構造が簡易なAg/AgIO3電極法を応用することでマイクロpHセンサの創製が可能となる.マイクロpHセンサ創製にあたりスパッタリング用Ag/AgIO3ターゲットの製作を行ったが,創製したpHセンサは電圧測定可能か不透明である.そこで本報では,創製したpHセンサの校正実験を行い,pHと電圧の関係性を確認した.
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© 2014 公益社団法人 精密工学会
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