硬質薄膜の凝着特性に関する研究（第2報）

抄録

硬質薄膜の機械的特性の評価は、一般にナノインデンテーション、スクラッチ試験、摩擦摩耗試験によって行われている。しかし、硬質薄膜の実際の使用条件下での耐久性はそれらの結果と一致しないことも多い。実際の使用条件下での耐久性を評価できる新しい評価方法の開発が望まれている。我々は、前回の春季大会で摩擦圧接装置を利用した評価方法を提案した。この方法のひとつの問題点は荷重が大きすぎることであった。本報では、より小さな負荷下で試験を実施できる装置を用いて、DLC薄膜を評価した結果について示す。