ナノピペットを有する走査型プローブ顕微鏡を用いたプラズマジェット微細加工の精度向上

抄録

真空環境を必要としない大気圧プラズマジェットはその利便性やユニークな特性から殺菌・滅菌、表面処理など様々な応用が期待されている。我々は微小開口を持つナノピペットプローブをノズルとして用いることでこれをサブミクロンサイズまで局在化させ、走査型プローブ顕微鏡を組み合わせることでノズル先端の位置決めを可能とした。本発表では装置の改良により加工幅の微細化及び、加工量の制御を行った結果について報告する。