精密工学会学術講演会講演論文集
2014年度精密工学会春季大会
セッションID: H70
会議情報

平坦電極を用いたボトムコンタクト型バイポーラカーボンナノチューブFET
*Setiadi Agung赤井 恵齋藤 彰桑原 裕司
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
抄録
We have fabricated bottom contact CNT-FET devices on flattened electrodes. Our devices had larger numbers of CNT direct junctions compared to non-flattened devices due to stronger interaction between CNTs and modified SiO2 surfaces. Although all of our flattened and non-flattened devices showed ambipolar characteristic, flattened electrodes devices had better symmetry of transfer characteristic.
著者関連情報
© 2014 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top