マイクロ旋盤加工におけるAEセンシングを用いた工具接触検知と刃先状態認識

抄録

マイクロ工作機械による加工では現象が微視的であるため，通常の工作機械で使用されるセンシング技術を適用することが困難な場合が多く，特に座標系設定には時間と労力を要する．そこで本研究では，AEセンシングを利用してマイクロ工作機械における工具・被削材の接触検知，加工状態監視に関する基礎実験を行った．その結果，0.1 μmの微小切込みで工具接触検知が可能であり，工具刃先への被削材の凝着を認識できることがわかった．